产品优势
厚度检测系统适用于原硅片、返工片；电阻率检测系统适用于原硅片
硅片尺寸：156mm-230mm；厚度检测系统硅片厚度90-1000um； 电阻率检测系统硅片厚度90-180um；
厚度检测系统采样率：1000FPS；电阻率检测系统采样率<=1ms ,采集数据>300点
产品明细
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